Súpis špecifikácií výberu vnútornej kontroly pre presné keramické komponenty používané v polovodičových zariadeniach

Presná keramika ( Pokročilá keramika ) hrá nenahraditeľnú úlohu vo výrobnom procese polovodičov (od výroby doštičiek až po lepenie doštičiek, balenie a testovanie) vďaka svojej odolnosti voči vysokej teplote, odolnosti proti korózii, vysokej tvrdosti, vysokej tepelnej vodivosti a vynikajúcej izolácii. Ako sa globálny proces výroby integrovaných obvodov posúva smerom k 3 nm 、 2 nm S vývojom pokročilejších procesov spôsobili drsné pracovné podmienky vo vnútri zariadenia extrémne výzvy pre čistotu materiálu, presnosť spracovania a životnosť kľúčových keramických komponentov v plazme. Cieľom tohto článku je vyriešiť problém internej technickej dokumentácie podnikov “ Prázdne a chýbajúce parametre zodpovedajúce aplikácii stroja ” vydáva a zavádza štandardy vnútornej kontroly základnej technológie pre všetky kategórie presnej keramiky.

Polovodičová presná keramika “ Štyri jadrové materiály ”

Normy výkonu a kontroly pre kľúčové komponenty základného vybavenia

1. Zariadenie na leptanie —— Základný spotrebný systém

V procese front-end leptania integrovaných obvodov, či ICP (induktívne viazaná plazma) príp ČKS (kapacitne viazaná plazma) stroja, sú vnútorné komponenty dutiny vystavené extrémne aktívnym fluórovým radikálom (ako napr. SF6 、 CF4 ) alebo plazma na báze chlóru. Tradičné materiály sú ľahko náchylné na odštiepenie v dôsledku erózie na hraniciach zŕn, čo vedie k silnej kontaminácii doštičky časticami.

Základný produkt: Zaostrovací krúžok z karbidu kremíka vysokej čistoty

[ Karbid kremíka pre leptací stroj SiC Skutočný obraz produktu zaostrovacieho krúžku ]

• Extrémne odolný voči technológii plazmovej erózie: Tento produkt používa beztlakový spekaný karbid kremíka vysokej čistoty s celkovým obsahom kovových nečistôt ≤ 5 ppm . Jeho jedinečná integrovaná štruktúra zŕn s vysokou hustotou má nižšiu rýchlosť chemického leptania ako tavený oxid kremičitý pri silnom plazmovom bombardovaní na báze fluóru. 8-10 krát. To zaisťuje, že zaostrovacie zvonenie bude nepretržité 200 V cykle leptania plátku je rýchlosť deformácie okraja menšia ako 0,05 % , čo výrazne zlepšuje rovnomernosť leptania okrajov plátku a zlepšuje celkovú mieru využitia stroja ( propagovať 15 % vyššie.
• Presná dopingová kontrola odporu: Prostredníctvom pokročilej technológie riadenia vodivosti hraníc zŕn je odpor stabilne riadený v rámci špecifického rozsahu požadovaného zákazníkom ( 1-10Ω·cm ), pri stovkách wattov vysokofrekvenčného RF ( RF ) výkon, ktorý zaisťuje, že plazmové elektrické pole vertikálne a rovnomerne preniká okrajom plátku, čím sa eliminuje efekt leptania.

Hlavný produkt: Presná postrekovacia hlava z oxidu hlinitého s vysokou čistotou

[ Detailný nákres spracovania mikrootvorov keramickej hlavice postrekovača z vysoko čistého oxidu hlinitého ]

• Ultra presné spracovanie mikrootvorového prietokového poľa: v priemere 300-450 mm Na disku pomocou ultrazvuku a päťosovej presnosti CNC Prepojené spracovanie, usporiadanie presahuje 5000 priemer je 0,3 mm - 0,5 mm mikropórov. Vyžaduje toleranciu konzistencie celého priemeru otvoru ≤±0,01 mm , drsnosť vnútornej steny otvoru dosahuje Ra ≤ 0,2 μm , úplne eliminovať otrepy. Uistite sa, že procesný plyn (napr. Ar, O2, N2 ) sa nastrieka na povrch doštičky v stave absolútne laminárneho prúdenia.
• Protiopatrenia proti zlyhaniam vnútornej kontroly spoločnosti: [Popraskanie na hraniciach zŕn a ochrana pred znečistením časticami] Vzhľadom na problém, že tradičné diely z oxidu hlinitého sú náchylné na mikrotrhliny v dôsledku uvoľnenia tepelného napätia na okrajoch mikropórov, musí tento výrobok prejsť testom pred opustením továrne. 100% Detekcia polarizovaného merača napätia, nedeštruktívne chemické morenie a leštenie na povrchu na elimináciu zvyškového napätia pri obrábaní a zaistenie 3000 Hodiny: Počas nepretržitého leptania nedochádza k žiadnemu lokálnemu štiepeniu alebo odlupovaniu.

2. Zariadenie na nanášanie tenkých vrstiev ( CVD/PVD stroj) —— Prostredie s vysokou teplotou a vysokým tlakom

chemická depozícia z pár ( CVD ) a ukladanie atómovej vrstvy ( ALD ) proces vyžaduje zahrievanie prekurzorového plynu na reakciu a teplota okolia je vždy 400 ℃ - 1000 ℃ medzi. Oblátka musí byť úplne plochá a upevnená s rýchlym a rovnomerným rozložením tepla.

Hlavný produkt: Presné elektrostatické skľučovadlo z nitridu hliníka

[ nitrid hliníka AlN Vzhľad polovodičového elektrostatického skľučovadla a ohrievača ]

• Konečný pomer vedenia tepla a tepelného prispôsobenia: nitrid hliníka（ AlN ) má tepelnú vodivosť až 180-220 W/(m·K) jeho koeficient tepelnej rozťažnosti ( 4,5×10^-6/K ) v 25 ℃ - 800 ℃ V plnom teplotnom rozsahu a monokryštalickej kremíkovej doštičke ( 4,2 × 10^-6/K ), aby ste dosiahli dokonalú zhodu. Počas rýchleho procesu ohrevu s vysokým výkonom účinne rozptyľuje tepelné napätie a zabraňuje tepelnému sklzu kremíkového plátku ( šmyk ) deformácia dislokácie alebo deformácie, takže nerovnomernosť teplotného poľa na povrchu plátku je prísne kontrolovaná v rámci ≤±0,5℃ 。
• Integrovaná lišta s vysokoteplotnou a vysokonapäťovou izoláciou: Použitie viacvrstvovej spoluvypaľovanej keramiky ( HTCC ) technológia využívajúca volfrám s vysokou teplotou topenia / Vzory molybdénovej horúcej elektródy a elektrostatickej adsorpčnej elektródy sú priamo vytlačené a vložené AlN vnútri matrice. dokonca aj v 600 ℃ Pri vysokých teplotách zostáva objemový odpor na ≥10^11Ω·cm , izolačné prierazné napätie ≥ 15 kV/mm , plne prispôsobené Coulombovej sile a J-R Dvojitá špecifikácia adsorpcie účinku.

Hlavný produkt: Vysoko čistý nosič doštičiek z karbidu kremíka pre rúry vysokoteplotných pecí

[ Detailný pohľad na štrbiny člnov na doštičky z karbidu kremíka s vysokou čistotou pre vysokoteplotné vertikálne difúzne pece ]

• Kontrola tečenia pri vysokej teplote: 在 1200 ℃ Vo vysokoteplotných vertikálnych difúznych peciach sú tradičné kremenné člny náchylné na vysokoteplotné tečenie (deformácia ohybom) v dôsledku dlhodobej vlastnej hmotnosti a zaťaženia plátkami. Tento produkt využíva rekryštalizáciu / Beztlakový spekaný karbid kremíka, v 1350 ℃ Pevnosť v ohybe neklesá pri extrémne vysokých teplotách a pri dlhodobej prevádzke sa neohýba ani nedeformuje, čo zaručuje absolútnu presnosť polohy automatizovaných manipulátorov pri automatickom vkladaní a vyberaní plátkov.

3. Prenos plátkov a automatizovaný manipulačný systém —— Vysoká rýchlosť a vysokofrekvenčné tlmenie vibrácií

Ako sa výrobná kapacita pokročilých procesov zvyšuje, zrýchlenie robotov manipulujúcich s plátkami dosiahlo alebo dokonca prekročilo 2G , akékoľvek mierne mechanické vibrácie spôsobia odštiepenie plátku alebo škrabance na zadnej strane.

Základný produkt: vysoká špecifická tuhosť a veľké robotické rameno z karbidu kremíka

[ Schéma manipulačného ramena keramického manipulátora s vysokým vákuom a vysokým zrýchlením ]

• Extrémne vysoká tuhosť a okamžité zníženie vibrácií: Modul pružnosti karbidu kremíka ( ~410 GPa ) je vyrobený z ocele 2 krát, hliník 6 násobok jeho špecifickej tuhosti (modul pružnosti / Hustota) je medzi strojárskymi materiálmi na mimoriadne vysokej úrovni. Rameno robota z karbidu kremíka je navrhnuté s dutou a ľahkou konštrukciou. Oneskorenie štrukturálnej odozvy pri vysokorýchlostnom štarte a zastavení je nižšie ako pri tradičných kovových častiach. 85 % Vyššie je zvyškový čas vibrácií na konci ramena menší ako 0.05 sekúnd. To môže úplne vyriešiť problém počas prepravy “ trepotať sa poškriabať ” Body bolesti, ochrana 12 palec ( 300 mm ) Vysokorýchlostné a vysoko presné odovzdávanie veľkých tenkých plátkov.
• Rozmerová stabilita pre spracovanie veľkých rozmerov: dĺžka presahuje 1000 mm Veľkorozmerné robotické rameno má vo vnútri riadenú toleranciu rovinnosti ≤ 0,02 mm Vnútri je celý povrch zrkadlovo leštený ( Ra ≤ 0,05 μm ), ktoré uvoľňujú častice bez akéhokoľvek trenia.

Základný produkt: porézna keramická vákuová nádoba

[ Porézna keramická vákuová nádoba ]

• Rovnomerná porézna podtlaková adsorpcia: Priemerný priemer pórov je riadený pri 10-30 μm , pórovitosť je stabilná 35 % – 45 % . Prostredníctvom mikropórov po celom povrchu sa dosiahne rovnomerný podtlak na celom povrchu, čím sa zabráni lokálnej koncentrácii napätia a lokálnej deformácii depresie spôsobenej tradičnými centralizovanými prísavkami na tenkých plátkoch, čím sa zabezpečí kontrola plátkov a CMP Počas leštenia zostáva povrch plochý na úrovni nanometrov.

Zhrnutie prispôsobenia rôznych materiálov

1. Séria presných konštrukčných dielov z keramiky z oxidu hlinitého

• Hlavnými kľúčovými bodmi sú: vysoká cena, vysoká čistota, ochrana pred prachom a silná univerzálna izolácia. • Použiteľné kľúčové slová produktu: polovodičová keramická výstelka, antikorózny izolačný krúžok, keramická izolačná objímka s vysokou čistotou, keramická izolačná príruba.

[ Zbierka rôznych špecifikácií keramických konštrukčných dielov z polovodičovej keramiky s vysokou čistotou ]

2. keramika z karbidu kremíka reakciu

• Hlavné kľúčové body: odolnosť voči plazmovému leptaniu, extrémne vysoká teplotná odolnosť bez tečenia, vysoká špecifická tuhosť a veľké integrované tvarovanie. • Použiteľné kľúčové slová produktu: SiC Leptací zaostrovací krúžok, polovodičový konzolový lúč z karbidu kremíka, vertikálna pec z karbidu kremíka, CMP Leštiaci krúžok, keramické mechanické rameno s vysokou tuhosťou.

[ Vysoko čisté reakčné spekanie Schéma presných keramických dielov z karbidu kremíka ]

3. nitrid hliníka陶瓷 Vysoká tepelná vodivosť /HTCC Séria potiahnutá meďou

• Hlavné kľúčové body: ultra vysoký odvod tepla, koeficient tepelnej rozťažnosti dokonale zladený s monokryštálom kremíka, viacvrstvové spoluvypaľovanie ( HTCC ) Technológia vstavaných obvodov. • Použiteľné kľúčové slová produktu: AlN Elektrostatická základňa skľučovadla, polovodičové laserové vyhrievacie teleso, vysoký výkon LED/IGBT Keramický substrát na odvádzanie tepla, metalizovaná keramika z nitridu hliníka.

[ Keramický substrát z nitridu hliníka s vysokou tepelnou vodivosťou]

4. Keramika z nitridu kremíka s ultra vysokou pevnosťou

• Hlavné kľúčové body: kráľ keramiky, vysoká lomová húževnatosť, odolnosť proti nárazu, odolnosť proti opotrebeniu a žiadna strata prášku, vysokorýchlostná rotačná dynamická rovnováha. • Použiteľné kľúčové slová produktu:真空泵陶瓷轴承、半导体划片机陶瓷主轴、高频封测测试治具座、耐磨陶瓷柱塞泵芯。

[ Vysokopevnostné keramické ložiská z nitridu kremíka a diely odolné voči opotrebovaniu pre polovodičové zariadenia ]