Keramická prísavka Oxalumina je revolučný produkt v oblasti presných manipulačných systémov. Je vyrobený z keramiky α-oxid hlinitý (α-Al₂O₃) s čistotou ≥99,9 %, v kombinácii s umelo vyvinutou poréznou štruktúrou na dosiahnutie optimálnej distribúcie vákua. V porovnaní s tradičnými kovovými alebo polymérovými prísavkami toto keramické riešenie úplne eliminuje riziko kontaminácie časticami a zároveň je schopné odolať extrémnym teplotám (1750 °C nepretržitá prevádzka) a korozívnemu prostrediu. Jeho jedinečná mikroštruktúra (2-5μm rovnomerná veľkosť pórov, hustota 3,89g/cm³) zaisťuje submikrónovú plochosť (drsnosť povrchu Ra≤0,1μm), vďaka čomu je jedinou profesionálnou prísavkou, ktorá dokáže spracovať 300 mm polovodičové doštičky s presnosťou nasávania ±0,1μm.
1. Prelom v materiálovom výkone
Tepelná stabilita: žiadna deformácia v cykloch tepelného šoku 800 °C a životnosť 5-krát dlhšia ako u zliatinových prísaviek (prostredie procesu s vysokou teplotou).
Chemická odolnosť: 1-ročná strata hmotnosti 30% ponorením do kyseliny sírovej je menšia ako 0,01 g, vhodná na prevádzku s elektrolytom batérie a proces chemického vylučovania pár.
Izolačný výkon: Sila prierazného poľa dosahuje 40 kV/mm, čo zaisťuje bezpečnú prevádzku v plazmovej leptacej komore.
2. Inovácia inžinierskeho dizajnu
Kontrola pórovitosti: 40% pórovitosť sa dosahuje procesom vstrekovania gélu a štruktúra steny pórov 1-3 μm zabraňuje adsorpcii a deformácii ultratenkých častí (≤ 50 μm).
Inteligentná architektúra: Vstavaný teplotný senzor podporuje riadenie teploty v reálnom čase od -196 ℃ do prostredia s ultra vysokou teplotou.
